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01 福井工業大学研究紀要. 第一部 >

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タイトル: 減圧沸騰噴霧を適用した新気化供給法の提案 ―HfO2膜表面構造におよぼす噴射量の影響―
その他のタイトル: Proposal of New Supplying Evaporation Precursor Method with CVD by Using Mixed Solution – Relation between HfO2 Film Surface Condition and Injection Quantity –
著者: 大嶋, 元啓
千田, 二郎
石田, 耕三
OSHIMA, Motohiro
SENDA, Jiro
ISHIDA, Kozo
キーワード: CVD
flash boiling spray
HfO2
SEM
TEMAHf
発行日: 30-6月-2010
掲載誌: 福井工業大学研究紀要
巻: 40
資料タイプ: Article
URI: http://hdl.handle.net/10461/5656
出現コレクション:01 福井工業大学研究紀要. 第一部

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