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01 福井工業大学研究紀要. 第一部 >

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タイトル: 低気圧誘導結合型高周波放電プラズマのプラズマ制御パラメーターとプラズマパラメーターに関する研究(そ
その他のタイトル: Experimental Studies on the Relation between the Plasma Control Parameter and Plasma Parameter of Inductively Coupled R.F. Discharge in the Low Pressure (Part 1)
著者: 長濱, 治男
Nagahama, Haruo
キーワード: High frequency discharge
plasma
sample gas pressure
ionization electric power
electron density
electron temperature
発行日: 30-6月-2010
掲載誌: 福井工業大学研究紀要
巻: 40
資料タイプ: Article
URI: http://hdl.handle.net/10461/5641
出現コレクション:01 福井工業大学研究紀要. 第一部

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