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01 福井工業大学研究紀要. 第一部 >

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タイトル: 減圧沸騰噴霧を適用した新気化供給法により成膜したHfO2薄膜の観察-噴射量が薄膜表面に与える影響-
その他のタイトル: Observation of HfO2 Film Deposited with New Evaporation Supply Method by Using Flash Boiling Spray -Effect of Injection Quantity on the Film Surface-
著者: 大嶋, 元啓
木村, 大一郎
千田, 二郎
石田, 耕三
OSHIMA,Motohiro
KIMURA,Daiichiro
SENDA,Jiro
ISHIDA,Kozo
キーワード: 薄膜
減圧沸騰噴霧
発行日: 1-8月-2009
巻: 39
資料タイプ: Article
URI: http://hdl.handle.net/10461/5234
ISSN: 18844502
18844456
出現コレクション:01 福井工業大学研究紀要. 第一部

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