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タイトル: 13.5MHz高周波のアーク状放電プラズマが生じる直前の電子密度分布
その他のタイトル: Radial distribution of electron densities of 13.5MHz high-frequency discharge plasma
著者: 長浜, 治男
NAGAHAMA, Haruo
発行日: 1987
掲載誌: 福井工業大学研究紀要
巻: 17
URI: http://hdl.handle.net/10461/4263
出現コレクション:03 福井工業大学研究紀要

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