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タイトル: 高周波放電プラズマのコンダクタンスに対するガス圧の影響
その他のタイトル: Effect of gas pressure on the conductance of high frequency discharge plasma.
著者: 長濱, 治男
NAGAHAMA, Haruo
発行日: 1985
掲載誌: 福井工業大学研究紀要
巻: 15
URI: http://hdl.handle.net/10461/4114
出現コレクション:03 福井工業大学研究紀要

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