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01 福井工業大学研究紀要. 第一部 >

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タイトル: RFスパッタリング法によるBi-Sb薄膜熱電素子の作製条件とその熱電特性
その他のタイトル: Production Conditions of Bi-Sb Film Thermoelement Using RF Sputtering Method and Thermoelectric Properties
著者: 村瀬, 正義
内山, 直幸
MURASE, Masayoshi
UCHIYAMA, Naoyuki
発行日: 1997
掲載誌: 福井工業大学研究紀要. 第一部
巻: 27
URI: http://hdl.handle.net/10461/3621
出現コレクション:01 福井工業大学研究紀要. 第一部

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