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01 福井工業大学研究紀要. 第一部 >

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タイトル: 誘導結合型高周波放電の電界分布に関する理論的研究
その他のタイトル: Theoretical Studies on the R.F.Field Distribution of the Inductively Coupled Radio Frequency Discharge
著者: 長濱, 治男
Nagahama, Haruo
発行日: 31-5月-2007
掲載誌: 福井工業大学研究紀要. 第一部
巻: 37
URI: http://hdl.handle.net/10461/3414
出現コレクション:01 福井工業大学研究紀要. 第一部

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