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01 福井工業大学研究紀要. 第一部 >

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タイトル: リング電極方式容量結合型高周波放電に対する2種類の高周波電界の重畳効果(その1)
その他のタイトル: Effects of Applying Two Kinds of R. F. Fields on Capacitively Coupled R. F. Discharges with ring-like Electrodes (Part 1)
著者: 長濱, 治男
Nagahama, Haruo
発行日: 2003
掲載誌: 福井工業大学研究紀要. 第一部
巻: 33
URI: http://hdl.handle.net/10461/3345
出現コレクション:01 福井工業大学研究紀要. 第一部

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