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01 福井工業大学研究紀要. 第一部 >

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タイトル: リング電極方式容量結合型高周波放電の基礎研究(その3)
その他のタイトル: Foundamental studies of capacitively coupled R.F, discharge with ring-like electrodes (Part 3)
著者: 長濱, 治男
Nagahama, Haruo
発行日: 2000
掲載誌: 福井工業大学研究紀要. 第二部
巻: 30
URI: http://hdl.handle.net/10461/3318
出現コレクション:01 福井工業大学研究紀要. 第一部

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