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01 福井工業大学研究紀要. 第一部 >

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タイトル: リング電極方式容量結合型高周波放電に対する2種類の高周波電界の重畳効果(その2)
その他のタイトル: Effect of Applying Two Kinds of R.F.Fields on Capacitively Coupled R.F.Discharges with ring-like Electrodes
著者: 長濱, 治男
Nagahama, Haruo
発行日: 2005
掲載誌: 福井工業大学研究紀要. 第一部
巻: 35
URI: http://hdl.handle.net/10461/3282
出現コレクション:01 福井工業大学研究紀要. 第一部

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