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01 福井工業大学研究紀要. 第一部 >

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タイトル: プラズマ中の活性粒子を用いた TiO_2 スパッタ膜の形成
その他のタイトル: TiO_2 Sputtered Film Growth using Active particles in Plasma
著者: 柴田, 明
Shibata, Akira
発行日: 2003
掲載誌: 福井工業大学研究紀要. 第一部
巻: 33
URI: http://hdl.handle.net/10461/3088
出現コレクション:01 福井工業大学研究紀要. 第一部

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