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01 福井工業高等専門学校研究紀要. 自然科学・工学 >

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タイトル: Si基板を用いたCoCrTa薄膜
その他のタイトル: Fabrication of CoCrTa magnetic film by rf-sputtering
著者: 太田, 泰雄
今村, 優
OHTA, Yasuo
IMAMURA, Masaru
キーワード: Si substrate
CoCrTa thin film
rf magnetron sputtering system
underlayer
longitudinal media
発行日: 2003
掲載誌: 福井工業高等専門学校研究紀要. 自然科学・工学
巻: 37
資料タイプ: Departmental Bulletin Paper
URI: http://hdl.handle.net/10461/2928
出現コレクション:01 福井工業高等専門学校研究紀要. 自然科学・工学

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